[发明专利]一种乙醇蒸汽与间隙敏感元件及其研制方法有效
| 申请号： | 202110284963.9 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113088873B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 王璐珩;刘裕杰;南茂元 | 申请（专利权）人： | 中南大学 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/58;G01B7/14;G01N27/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 410083 湖南省长沙市岳*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种乙醇蒸汽与间隙敏感元件，该敏感元件包括陶瓷衬底，线圈，绝缘层和电极；乙醇蒸汽与间隙敏感元件为线圈式；陶瓷衬底长度为50mm，宽度为38.5mm，厚度为1mm；线圈线宽和线距均为0.5mm，圈数为10圈；绝缘层结构为长方形，所述绝缘层材料为氧化铝，所述绝缘层长度为27.5mm，绝缘层宽度为3mm；电极结构为非叉指型，所述电极材料为二氧化锡，所述电极半径为2mm，长度为31.43mm，宽度为1mm；该敏感元件对乙醇蒸汽敏感且对非接触式间隙的变化敏感。本发明研制的乙醇蒸汽与间隙敏感元件尺寸小、厚度薄、结构简约、成本低，用单个敏感元件就可实现气体和非接触式间隙测量，适用于工业设备狭小层间气体和间隙测量，其关键技术还可用于多功能电子皮肤研制等领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 乙醇 蒸汽 间隙 敏感 元件 及其 研制 方法 | ||
【主权项】：
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