[发明专利]一种减少DCB产品皱皮疙瘩不良的方法在审
申请号: | 202110284920.0 | 申请日: | 2021-03-17 |
公开(公告)号: | CN113224008A | 公开(公告)日: | 2021-08-06 |
发明(设计)人: | 蔡俊;贺贤汉;马敬伟;陈元华 | 申请(专利权)人: | 江苏富乐德半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L23/14 | 分类号: | H01L23/14;H01L23/15;H01L21/48 |
代理公司: | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人: | 赵建敏 |
地址: | 224200 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明涉及一种减少DCB产品皱皮疙瘩不良的方法,包括如下步骤:A、研磨:采用刷辊对带有皱皮疙瘩的一面进行研磨,速度设置为0.8~1.0m/min,研磨量控制在7~12μm范围内,还原原始铜片表面的光亮,而后经纯水超声清洗去除研磨下来的异物;B、烧结再结晶:将步骤A处理后得到的产品置于烧结炉内,并通入氮气和氧气混合气,在1075~1083℃条件下烧结,使铜片表面再结晶。研磨可以完全去除表面的色差,绝大多数的疙瘩皱皮缺陷,回归原始铜表面的光洁;再结晶实现产品晶粒和粗糙度与正常产品相当,焊接和打线性能和正常产品相当,一定程度上提升良率,降低了产品报废率。 | ||
搜索关键词: | 一种 减少 dcb 产品 疙瘩 不良 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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