[发明专利]电容式氢气传感器芯体及其制备方法、电容式氢气传感器在审
| 申请号： | 202110284867.4 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113109402A | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 钟爱华;于慧敏 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 宗继颖 |
| 地址： | 518061 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明所提供的电容式氢气传感器芯体及其制备方法、电容式氢气传感器，电容式氢气传感器芯体包括：自下至上依次设置的基体、介质片和第二电极；其中，基体设置为导电材料层；第二电极设置为氢气敏感层；介质片为Ⅲ族氮化物层，且介质片背离基体的端面氧化为Ⅲ族氧化物层。通过将Ⅲ族氮化物介质片背离基体的端面氧化为Ⅲ族氧化物层，使得第二电极与Ⅲ族氧化物层接触。当暴露于氢气时，氢原子扩散并吸附在Ⅲ族氧化物层与第二电极的接触界面处，Ⅲ族氧化物层直接与氢原子相互作用，促使氢原子的吸附和脱附达到平衡状态，最终使电容式氢气传感器芯体同时兼顾检测下限低、响应速度快及安全可靠的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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