[发明专利]一种谐振器型无线无源温度传感器及工作方法有效
| 申请号： | 202110281938.5 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN112964384B | 公开（公告）日： | 2022-08-30 |
| 发明（设计）人： | 张清;房娟娟 | 申请（专利权）人： | 山东深思智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01K11/26 | 分类号： | G01K11/26 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 祖之强 |
| 地址： | 250101 山东省济南市中国（山东）自由贸*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种谐振器型无线无源温度传感器及工作方法，传感器包括：第一声表面波谐振器和第二声表面波谐振器，第一声表面波谐振器包括第一压电基片和第一金属电极，第二声表面波谐振器包括第二压电基片和第二金属电极；第一压电基片和第二压电基片的材质相同且切型相同，第一金属电极和第二金属电极材质相同且膜厚不同，根据第一声表面波谐振器和第二声表面波谐振器的中心频率的差值与温度的关系进行温度测量；本公开采用同一声波传播切型下、不同金属膜厚的两个独立的声表面波谐振器，可以保证传感器对非温度干扰参数的敏感特性近乎一致，提高温度传感器的精度，两个谐振器独立加工，传感器芯片面积小，可进一步提升产品的成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振器 无线 无源 温度传感器 工作 方法 | ||
【主权项】：
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