[发明专利]一种热场部件返修判断方法、处理方法、装置以及系统有效
| 申请号： | 202110278500.1 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN115074819B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 李梦飞;成路;段滨;姚宏;赵领航;高攀红;杜路路 | 申请（专利权）人： | 隆基绿能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06;C23C16/02;C23C16/26;C23C16/32 |
| 代理公司： | 北京知迪知识产权代理有限公司 11628 | 代理人： | 王胜利 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开一种热场部件返修判断方法、处理方法、装置以及系统，涉及单晶炉热场工艺技术领域，用于解决现有技术中碳碳热场部件回收利用率低，资源浪费严重，进而导致单晶制备成本较高的问题。所述热场部件返修判断方法包括：获取至少一个热场部件在热场环境中多个使用时间对应的腐蚀厚度，其中，使用时间小于或等于热场部件的涂层失效时间。根据使用时间、对应的腐蚀厚度、热场温度以及热场部件的涂层密度，获得热场部件的理论腐蚀厚度与使用时间的拟合公式。根据热场部件的理论腐蚀厚度与返修腐蚀厚度，确定热场部件的返修状态，返修状态包括需要返修以及不需要返修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 部件 返修 判断 方法 处理 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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