[发明专利]一种双背板结构的MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风在审
| 申请号： | 202110278158.5 | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN112672262A | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 山东新港电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04;H04R31/00;B81C1/00;B81B7/02;B81B7/00 |
| 代理公司： | 潍坊中润泰专利代理事务所(普通合伙) 37266 | 代理人： | 田友亮 |
| 地址： | 261200 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供一种双背板结构的MEMS芯片及其制作方法、MEMS麦克风，所述MEMS芯片包括具有背腔的衬底以及设于所述衬底一侧的振膜、第一背板和第二背板；所述第一背板间隔设置在所述振膜邻近衬底的一侧，且完全嵌入所述衬底的背腔中，与所述振膜形成第一电容；所述第二背板间隔设置在所述振膜远离衬底的一侧，与所述振膜形成第二电容；所述第一电容、第二电容构成一对差分电容。本发明的MEMS麦克风可输出差分信号，有利于消除外界的干扰信号，提高信噪比，减少谐波失真；此外，本发明的形成于背腔中的第一背板可实现较大的厚度和较好的均匀性，因此机械强度高，且有利于保证后续形成更为均匀的振膜，提高MEMS麦克风电声性能的稳定性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 背板 结构 mems 芯片 及其 制作方法 麦克风 | ||
【主权项】：
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