[发明专利]缺陷检测装置、方法及发光信号的获得方法在审
| 申请号： | 202110275757.1 | 申请日： | 2021-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN113155843A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 兰东辰;狄大卫;连亚霄 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/63 |
| 代理公司： | 上海智力专利商标事务所(普通合伙) 31105 | 代理人： | 吕玲玉 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及缺陷检测装置，涉及缺陷检测技术，包括：激发装置，用于向被检测结构施加不同激发源，而使被检测结构在不同激发源下产生不同的发光信号；接受装置，用于获得被检测结构产生的发光信号；以及计算单元，接收接受装置输出的发光信号，并根据被检测结构在不同激发源下产生的不同的发光信号计算获得被检测结构的某一层的发光信号，而为被检测结构的优化指明方向，且快速、无损。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 方法 发光 信号 获得 | ||
【主权项】：
暂无信息
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