[发明专利]具有高重复频率微波电子枪的电子层叠成像系统

摘要

本发明涉及一种电子层叠成像系统，具有光阴极微波电子枪，该光阴极微波电子枪的光阴极表面的电子受驱动激光脉冲的激发而产生电子束团；磁透镜，所述磁透镜用于对所述电子束团进行横向调制；聚束腔，该聚束腔用于对所述电子束团进行纵向调制；样品室，该样品室用于放置待测样品，样品与所述样品室能够相对于运动以使所述电子束团在样品不同位置处成像；探测装置，该探测装置用于探测与所述样品室内放置的样品作用后的成像电子束获得成像信息；图像重建装置，该图像重建装置用于根据所述探测装置获得的成像信息对样品进行图像重建。