[发明专利]一种保护型异型石墨坩埚及其使用方法在审
| 申请号： | 202110268810.5 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN112877778A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 吴晶 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨晶彩材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B28/14 |
| 代理公司： | 哈尔滨市文洋专利代理事务所(普通合伙) 23210 | 代理人： | 王艳萍 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市松北区高新技术开*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种保护型异型石墨坩埚及其使用方法，它涉及异型石墨坩埚及其使用方法，它是要解决现有的石墨坩埚易磨损及多晶粉料纯度低的技术问题。本发明的石墨坩埚包括上盖、坩埚主体、子坩埚和外螺纹石墨管；坩埚主体内设置呈阶梯状降低的立柱，子坩埚放在立柱的阶梯上，坩埚主体的筒壁中均布气孔，上盖与坩埚主体用外螺纹石墨管相连接。用法：将硅放在壳体底部；将碳粉放在子坩埚中，再将子坩埚放在立柱的阶梯上；将上盖与壳体用外螺纹石墨管旋紧后放在高温炉中；通过外螺纹石墨管向壳体的底部通入气体，升温反应，得到高纯碳化硅多晶粉料。该石墨坩埚磨损率低，使用7N～9N硅颗粒或硅块制备出的碳化硅多晶纯度为6N，可用于碳化硅多晶粉料制备领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 保护 异型 石墨 坩埚 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
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