[发明专利]一种平滑微透镜结构表面的制备系统有效
| 申请号： | 202110265377.X | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113031403B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 黄胜洲;谢芳琳;王雷;王风涛;韦山;吴中平;孙家乐 | 申请（专利权）人： | 安徽工程大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 袁林涛 |
| 地址： | 241000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种平滑微透镜结构表面的制备系统，包括：曝光光源，用于提供曝光光线，沿所述曝光光线照射方向顺次设置有匀光准直元件、DMD芯片、投影物镜以及三维精密平台，其中，所述匀光准直元件用于将曝光光线处理为均匀光束；所述DMD芯片用于将所述均匀光束反射至投影物镜；所述投影物镜用于将所述均匀光束聚焦至三维精密平台的精准曝光位置，以在工件表面生成曝光图形；其中，还包括连接至所述投影物镜的机械振动辅助机构，所述机械振动辅助机构驱动所述投影物镜产生正弦振动或余弦振动，以模糊DMD像素间隙，消除曝光图形的像素量化误差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平滑 透镜 结构 表面 制备 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽工程大学，未经安徽工程大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110265377.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
