[发明专利]半导体工艺设备中加热器的诊断方法及系统有效
| 申请号： | 202110265278.1 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113063999B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 张芳 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R27/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种半导体工艺设备中加热器的诊断方法，包括：获取加热器中的第一电流值，并获取诊断电路中的第二电流值，诊断电路与加热器并联，且诊断电路上的电阻与加热器的额定电阻相等；当第一电流值与第二电流值之间的差值超出预设差值阈值时，判定加热器出现故障。本发明提供的诊断方法和半导体工艺设备能够对加热器的总电阻进行实时监测，从而能够在加热器中任意地方的电阻发生变化时及时发现故障，进而消除了因未及时发现加热器故障导致反应源温度异常的问题，提高了成品良率。本发明还提供一种半导体工艺设备。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 工艺设备 加热器 诊断 方法 系统 | ||
【主权项】：
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