[发明专利]制冷系统及温控方法有效
| 申请号： | 202110256916.3 | 申请日： | 2021-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN113007926B | 公开（公告）日： | 2022-12-13 |
| 发明（设计）人： | 刘紫阳;靳李富;胡文达;常鑫;芮守祯;曹小康 | 申请（专利权）人： | 北京京仪自动化装备技术股份有限公司 |
| 主分类号： | F25B41/20 | 分类号： | F25B41/20;F25B43/00;F25B40/02;F25B49/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 韩世虹 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及制冷系统及温控方法，制冷系统包括冷却装置和循环液装置，冷却装置包括压缩机、冷凝器、蒸发器、过冷储液器和三通阀，压缩机的出口、冷凝器的放热通路、三通阀的第一通口、三通阀的第二通口、蒸发器的吸热通路与压缩机的入口依次连通，冷凝器的放热通路与三通阀的第一通口连通的管路上沿冷却液的流向依次设有第一支路和第二支路，第一支路、过冷储液器的放热通路与三通阀的第三通口依次连通，第二支路、过冷储液器的吸热通路与压缩机的入口依次连通，蒸发器的吸热通路与循环液装置连通。可以降低温控装置压缩机的规格，降低装置正常运行的平均功耗，减小温控装置体积，降低成本。 | ||
| 搜索关键词： | 制冷系统 温控 方法 | ||
【主权项】：
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