[发明专利]一种Parylene F型气相沉积方法有效
| 申请号： | 202110246284.2 | 申请日： | 2021-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113025960B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 刘佳男;王燕;黄洪文 | 申请（专利权）人： | 贵州航天林泉电机有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 贵州派腾知识产权代理有限公司 52114 | 代理人： | 谷庆红 |
| 地址： | 550000 贵州*** | 国省代码： | 贵州;52 |
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| 摘要： | 本发明属于Parylene F型气相沉积技术领域，具体涉及一种Parylene F型气相沉积方法；通过对蒸发工艺和裂解工艺的优化改进，Parylene F型此种较难沉积的原料也可获得较快的蒸发速率，膜层成分纯净性能优异，且未对国内普遍的Parylene气相沉积设备做出改动，在保证膜层性能的前提下大幅提升了加工效率。同时由于蒸发速率稳定，可以通过控制工艺时间的方式控制最终膜层的厚度，降低了膜厚控制难度，反应更加可控。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 parylene 型气相 沉积 方法 | ||
【主权项】：
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