[发明专利]横向激励剪切模式的声学谐振器的制造方法在审
| 申请号： | 202110239485.X | 申请日： | 2021-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN112953449A | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 龚颂斌;吕若辰 | 申请（专利权）人： | 偲百创（深圳）科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/02;H03H3/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 虞凌霄 |
| 地址： | 518048 广东省深圳市福田区华富街道莲*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种横向激励剪切模式的声学谐振器的制造方法，包括：提供压电层，压电层包括单晶材料的铌酸锂和/或单晶材料的钽酸锂；在压电层的第一表面形成声学镜；声学镜包括至少一第一声反射层和至少一第二声反射层，第一声反射层和第二声反射层交替叠设，各第一声反射层的声阻抗小于各第二声反射层的声阻抗；在声学镜的第一表面键合承载晶圆；在压电层的第二表面形成电极单元和横向反射器。本发明将采用单晶材料的铌酸锂或钽酸锂的压电层集成到定制开发的微加工工艺流程中，形成的谐振器通过电极单元产生电场，并通过横向反射器对声波进行横向反射，从而可以激励为横向的剪切振动模式，并在3GHz以上的频率下具有高机电耦合系数和高Q值。 | ||
| 搜索关键词： | 横向 激励 剪切 模式 声学 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于偲百创（深圳）科技有限公司，未经偲百创（深圳）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110239485.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种探针组装设备
- 下一篇：一种扩散进气的气缸盖
