[发明专利]一种快速均匀制备大面积石墨烯玻璃的方法在审

专利信息
申请号: 202110233075.4 申请日: 2021-03-03
公开(公告)号: CN112919823A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 邢飞;李宗文;吴田鸽;韩雪;姬广民;田敬坤 申请(专利权)人: 山东理工大学
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 255086 山东省淄*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种快速均匀制备石墨烯玻璃的方法,步骤:超声清洗玻璃衬底,并用氮气吹干;将玻璃衬底置于高温管式炉内,真空泵将管内真空度抽至20Pa以下,Ar清洗整个气路;通入还原性气体Ar/H2混合气,另一Ar携带醇类碳源进入炉内;一定时间后得到石墨烯玻璃。本发明以安全的挥发性三碳、四碳醇类代替常规甲烷、乙烯提供生长碳源,大幅提升了石墨烯的生长速度,生长完整单层石墨烯的最快速度只需几十秒,使均匀石墨烯玻璃具有工业化生产和广泛应用的基础;本发明通过醇类作为碳源,并采用低氢气比例混合的氩氢混合气作为还原气氛,提高了生长过程安全性;本发明通过低压方式在玻璃基底直接生长石墨烯薄膜,该薄膜均匀,厚度可控,可实现规模化生产。
搜索关键词: 一种 快速 均匀 制备 大面积 石墨 玻璃 方法
【主权项】:
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