[发明专利]一种蓝宝石切割液及其制备方法在审
| 申请号： | 202110226867.9 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN112980558A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 吕德;沈家华;陈韬;苏光临 | 申请（专利权）人： | 南宁珀源能源材料有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10N30/06;C10N30/12 |
| 代理公司： | 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) 31333 | 代理人： | 汤俊明 |
| 地址： | 530200 广西壮族自治区南*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体硬脆材料加工技术领域，具体涉及一种蓝宝石切割液及其制备方法。所述切割液的制备原料包括小分子有机溶剂、水、极压润滑剂、分散剂、润湿消泡剂、润湿剂、乳化剂、防锈剂、杀菌剂、碱性缓冲剂。本发明的蓝宝石切割液主要应用于各种尺寸及形貌的蓝宝石金刚线切割行业，解决了使用蓝宝石切割液切割时容易出现的崩边等边缘不良问题、在切割过程中不容易出现短线问题；切割后TTV、LTV、WARP、BOW等平整度性能符合要求，并且本发明的蓝宝石切割液具有良好的循环使用性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 切割 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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