[发明专利]一种紧凑型激光波长测量装置及其测量方法

摘要

本发明公开了一种紧凑型激光波长测量装置及其测量方法，包括光纤、准直镜组、干涉腔、光电探测器和控制与数据处理模块，所述光纤纤芯的端面为孔径光阑，待测波长的激光束入射在孔径光阑上，经准直镜组准直为平行光束，照射在干涉腔上，光束在干涉腔内多次反射后出射，形成干涉条纹，所述的光电探测器采集条纹信号并传输至控制与数据处理模块，经运算后获得光束的波长值。本发明基于等厚干涉原理测量激光的准确波长，进而在波长测量装置中降低发生干涉的核心器件加工难度、降低制造成本且整体设备无运动结构、体积紧凑，实现高精度的波长精确测量。