[发明专利]一种闭环控制的纳米级三维精密定位台有效
| 申请号： | 202110216109.9 | 申请日： | 2021-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN113028972B | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 陈峰;徐国飞;杨明远;闫巍 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨芯明天科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/16 | 分类号： | G01B7/16;G01B7/02;B25H1/00 |
| 代理公司： | 哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司 23211 | 代理人： | 王海婷 |
| 地址： | 150086 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种闭环控制的纳米级三维精密定位台，包括底座、封装壳体、载物板、X轴放大机构、第一连接板、Z轴放大机构、第二连接板和Y轴放大机构，三种放大机构均为长方体状结构，长方体状结构的一端为固定端，另一端为运动端，X轴放大机构的固定端固定在底座上，运动端与Z轴放大机构的固定端通过第一连接板连接，Z轴放大机构与X轴放大机构并排布置在底座上，Y轴放大机构设置在X轴放大机构和Z轴放大机构的上方，且与X轴放大机构空间呈90度垂直布置，Z轴放大机构的运动端与Y轴放大机构的固定端通过第二连接板连接，Y轴放大机构的运动端与载物板连接。本发明能够实现三维运动，具有小体积、高精度、误差小、传动速度快的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 闭环控制 纳米 三维 精密 定位 | ||
【主权项】：
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