[发明专利]反射率测量装置有效

专利信息
申请号: 202110205892.9 申请日: 2021-02-24
公开(公告)号: CN112986190B 公开(公告)日: 2022-01-28
发明(设计)人: 张立功;李颜涛;骆永石 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01N21/47 分类号: G01N21/47;G01N21/55;G01N21/31;G01N21/35;G01N21/25
代理公司: 长春中科长光知识产权代理事务所(普通合伙) 22218 代理人: 高一明;郭婷
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明提供一种反射率测量装置,包括棱形双面镜和平面反射镜,棱形双面镜具有第一反射面和第二反射面,平面反射镜设置在第一反射面的反射光路上,光学元件设置在平面反射镜的反射光路上,探测光入射至第一反射面,并反射到平面反射镜,再经平面反射镜反射至光学元件的表面,光学元件的反射光经第二反射面的反射后沿探测光的原光路射出。与多块反射镜结构相比,本发明只采用棱形双面镜+平面反射镜的结构,探测光只需要经过4次反射,就能被探测器接收,这最大程度地减少了探测光的损失,提高了反射率测量的准确度。同时解决了2个反射镜设计结构中存在的反射镜间距太小不利于调整的问题。
搜索关键词: 反射率 测量 装置
【主权项】:
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