[发明专利]一种基于CQP的激光干涉仪与光轴精密定位调装装置及方法有效
| 申请号： | 202110201508.8 | 申请日： | 2021-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN113008132B | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 张静怡;罗华优;段会宗;颜浩;叶贤基 | 申请（专利权）人： | 中山大学 |
| 主分类号： | G01B9/02055 | 分类号： | G01B9/02055;G01B9/02015 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张金福 |
| 地址： | 510275 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明为解决实际光束光轴的定位精度低的问题，提出一种基于CQP的激光干涉仪与光轴精密定位调装装置及方法，其中装置包括激光光源、CQP系统、数据处理单元、参考标准件和三坐标测量机，CQP系统包括一个分束镜和两个探测器；三坐标测量机用于测量参考标准件的位置信息。根据CQP系统输出信号调节光束至与CQP主轴重合，采用三坐标测量机计算CQP系统主轴与参考标准件的相对位置关系；将CQP系统放置在目标安装位置，根据实际光轴位置结合相对位置关系，采用三坐标测量机计算参考标准件的安装位置，并将参考标准件安装在相应位置；调节实际光束光轴与CQP系统的主轴重合，完成激光干涉仪与光轴精密定位调装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 cqp 激光 干涉仪 光轴 精密 定位 装置 方法 | ||
【主权项】：
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