[发明专利]陶瓷件制作方法及陶瓷件有效
| 申请号： | 202110198225.2 | 申请日： | 2021-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN112979341B | 公开（公告）日： | 2022-09-16 |
| 发明（设计）人： | 周坤玲;王宏伟;符雅丽;郑友山 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C04B41/00 | 分类号： | C04B41/00;C04B35/64;C04B35/10;C04B35/622 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;王婷 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供一种陶瓷件制作方法及陶瓷件，该陶瓷件制作方法，包括：对陶瓷生胚进行烧结，形成陶瓷件；对陶瓷件进行加工，使陶瓷件形成指定形状；按指定温度曲线对陶瓷件进行退火工艺；其中，指定温度曲线包括至少八个变温时段，每个变温时段均包括变温子时段和保温子时段；并且，通过设定各个变温时段中的变温子时段的时间范围、退火温度变化范围和变温速率值以及保温子时段的时长，来减小陶瓷件的微裂纹长度，并减少陶瓷件的颗粒数，本发明实施例提供的陶瓷件制作方法及陶瓷件，可以有效减小陶瓷件的损伤，改善焊合微裂纹的效果，将陶瓷件的微裂纹长度和颗粒均控制在个位数。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 制作方法 | ||
【主权项】：
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