[发明专利]具有用于高度测量的干涉仪的带电粒子束装置及其操作方法有效
| 申请号： | 202110189978.7 | 申请日： | 2021-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN113340927B | 公开（公告）日： | 2023-01-20 |
| 发明（设计）人： | J·布罗伊尔;R·卢温尼;A·戈尔登施泰因 | 申请（专利权）人： | ICT半导体集成电路测试有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01B15/00;G01B15/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 德国海*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种操作带电粒子束装置的方法，包括：用物镜组件将带电粒子束聚焦到样品上；使反射光束穿过物镜组件的孔到达干涉仪；以及用干涉仪干涉地确定样品的z位置。公开了一种带电粒子束装置，包括具有带电粒子源的带电粒子束发生器。用于带电粒子束的带电粒子路径穿过物镜组件的孔朝向样品平台延伸。干涉仪被布置为接收穿过物镜组件的孔的反射光束。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 用于 高度 测量 干涉仪 带电 粒子束 装置 及其 操作方法 | ||
【主权项】：
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