[发明专利]单粒子翻转截面测试方法、装置、电子设备及存储介质在审

专利信息
申请号: 202110183057.X 申请日: 2021-02-08
公开(公告)号: CN114912334A 公开(公告)日: 2022-08-16
发明(设计)人: 刘凡宇;张军军;李博;滕瑞;刘海南;赵发展 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G06F30/25 分类号: G06F30/25
代理公司: 北京华沛德权律师事务所 11302 代理人: 房德权
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种单粒子翻转截面测试方法、装置、电子设备及存储介质,应用于三维集成静态随机存储器SRAM,所述方法包括:获取目标SRAM的结构模型,结构模型包括多个堆叠层;对结构模型进行粒子辐照仿真,得出入射粒子在结构模型中每个堆叠层沉积的能量及粒子电离半径,其中,粒子电离半径为粒子入射到每个堆叠层时产生的经迹的半径;再确定每个堆叠层的灵敏区大小;根据目标SRAM的结构模型和每个堆叠层的灵敏区大小,得到目标SRAM仿真模型;对目标SRAM仿真模型进行粒子辐照仿真,确定目标SRAM在粒子辐照下存在的翻转位数i,以及发生i位翻转的事件数量,基于翻转位数i以及发生i位翻转的事件数量,得到目标SRAM的单粒子翻转截面大小。
搜索关键词: 粒子 翻转 截面 测试 方法 装置 电子设备 存储 介质
【主权项】:
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