[发明专利]一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法有效
| 申请号： | 202110180093.0 | 申请日： | 2021-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN113049082B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | 齐红基;陈端阳 | 申请（专利权）人： | 杭州富加镓业科技有限公司 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00;C30B29/16;C30B15/26 |
| 代理公司： | 深圳市君胜知识产权代理事务所(普通合伙) 44268 | 代理人： | 刘文求;朱阳波 |
| 地址： | 311400 浙江省杭州市富*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种籽晶杆抖动检测装置的检测方法及晶体生长方法，检测方法包括步骤：控制所述成像器对所述籽晶杆进行成像，得到所述籽晶杆对应的图像序列；所述图像序列中的图像为所述籽晶杆一个振动周期内的图像，所述图像序列包括第一图像和第二图像；根据所述图像序列，确定所述籽晶杆的抖动信息。由于通过成像器得到籽晶杆对应的图像序列，图像序列包括第一图像和第二图像，并根据图像序列，得到籽晶杆的抖动信息，从而检测晶体生长过程中籽晶杆的抖动情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 籽晶 抖动 检测 装置 方法 晶体生长 | ||
【主权项】：
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