[发明专利]一种氧化镓X射线探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种氧化镓X射线探测器及其制备方法，氧化镓X射线探测器的制备方法包括步骤：提供氧化镓单晶；对所述氧化镓单晶进行切割处理得到单晶基体片；对所述单晶基体片进行退火处理得到退火的单晶基体片；在所述退火的单晶基体片上形成叉指电极得到氧化镓X射线探测器。本发明采用氧化镓单晶，并将氧化镓单晶切割后得到单晶基体片，并对单晶基体片进行退火处理，通过退火处理降低氧化镓单晶中自由电子浓度，使得氧化镓X射线探测器在电压下更快响应，缩短了响应时间。