[发明专利]离子诱导材料表面二次电子发射产额的检测方法在审
| 申请号： | 202110174875.3 | 申请日： | 2021-02-07 |
| 公开（公告）号： | CN112986303A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 黄永刚;贾金升;孙勇;王善立;焦朋 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/2255 | 分类号： | G01N23/2255 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 张晓萍;刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种离子诱导材料表面二次电子发射产额的检测方法，其包括：对样品施加负电压，使用脉冲阳离子轰击样品表面，产生二次电子；对微通道板施加正电压，检测二次电子，得到二次电子的飞行时间质谱；基于飞行时间质谱，通过累积积分计算，获得二次电子的产额。本发明方法通过先在样品表面施加负电压，以更有效地引出负离子，然后对微通道板施加正电压，以加速二次电子，得到二次电子的飞行时间质谱；进而得到二次电子的产额。本发明方法可使二次电子被准确检测到，提高其对电子的检测效率，获得更为理想的质谱图。本发明方法的普适性好，可有效提高信噪比，并为材料表面的二次电子发射性能研究提供了新检测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 诱导 材料 表面 二次电子 发射 检测 方法 | ||
【主权项】：
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