[发明专利]一种用于微波输能窗口的多晶金刚石厚膜及其制备方法

摘要

一种用于微波输能窗口的多晶金刚石厚膜，所述多晶金刚石厚膜为双层柱状晶结构，其包括第一层金刚石膜和第二层金刚石膜，所述第二层金刚石膜生长在所述第一层金刚石膜的形核面上，所述第一层金刚石膜和第二层金刚石膜的生长面位于两端。本发明采用分步沉积的方法制备形核面位于多层金刚石厚膜内部、而生长面位于两端表面的双层柱状晶结构，制备的多晶金刚石厚膜具有强度高、介电损耗低、内部缺陷少，生长面抗弯强度高的特点，且制备方法沉积效率高。