[发明专利]使用外延生长的膜形成方法及外延生长装置在审
| 申请号： | 202110164339.5 | 申请日： | 2014-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN112981525A | 公开（公告）日： | 2021-06-18 |
| 发明（设计）人： | 冈部晃;森义信 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08;C30B25/10;C30B25/12;C30B25/14;C30B25/16;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本文介绍在构建由作为顶面的顶板、作为底面的基板安装部分，及作为侧面的侧壁界定及形成的反应腔室时，支撑件在顶板的圆周边缘自圆周边缘的上侧及外侧支撑顶板，并且反应气体在设置于侧壁中的反应气体供应路径中经整流，使得反应腔室中处于反应气体流动方向上的水平部件对应于一水平部件，该后一水平部件在自与反应腔室相对的反应气体供应路径的开口中心延伸至反应腔室中心的方向上。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 外延 生长 形成 方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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