[发明专利]决定方法、曝光装置、曝光方法、物品的制造方法以及存储介质在审
| 申请号： | 202110160958.7 | 申请日： | 2021-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN113267961A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 八讲学 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 程晨 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及决定方法、曝光装置、曝光方法、物品的制造方法以及存储介质。决定方法决定在具有将宽频带光作为照明光对原版照明的照明光学系统和形成原版的投影像的投影光学系统的曝光装置中使用的照明光的照明条件，决定方法具有：将宽频带光分割为预先决定的波长宽度的多个波长区域的工序；将形成于照明光学系统的瞳面的发光区域分割为预先决定的瞳半径宽度的多个瞳区域的工序；关于多个组计算由多个波长区域中的1个和多个瞳区域中的1个构成的1个组下的投影像的由散焦引起的光强度分布的变化量的工序；以使变化量之和成为基准值以下的方式决定投影像的组合的工序；根据与组合中包括的投影像对应的波长区域及瞳区域来决定照明条件的工序。 | ||
| 搜索关键词： | 决定 方法 曝光 装置 物品 制造 以及 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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