[发明专利]一种基于金属基底的薄膜传感器绝缘层复合结构在审
| 申请号： | 202110152953.X | 申请日： | 2021-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN112601368A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 曹建峰 | 申请（专利权）人： | 曹建峰 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00;H05K3/46;H05K3/26;H05K1/18 |
| 代理公司： | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人： | 李浩 |
| 地址： | 234000 安徽省宿*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于金属基底的薄膜传感器绝缘层复合结构，包括金属基底层，设置在金属基底层上的粘接层，设置在粘接层上的第一绝缘层，设置在第一绝缘层上的第二绝缘层，设置在第二绝缘层上的第三绝缘层，在第三绝缘层上设置的传感器电路层，在第三绝缘层上设置或不设置覆盖第三绝缘层和传感器电路层的保护层。本发明由于氮化硅绝缘层不与金属基底接触，杜绝了其在高温环境下与金属基底发生反应的可能；同时由于氮化硅绝缘层的隔离，使得氧化铝绝缘层中的针孔被阻隔，从而不会导致传感器电路层与金属基底之间的短路，确保了基于金属基底的薄膜传感器在高温环境下使用时的绝缘能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 基底 薄膜 传感器 绝缘 复合 结构 | ||
【主权项】：
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