[发明专利]一种石墨烯薄膜的转移方法、石墨烯薄膜及石墨烯复合结构有效
| 申请号: | 202110147885.8 | 申请日: | 2021-02-03 |
| 公开(公告)号: | CN112850696B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
| 发明(设计)人: | 彭海琳;高欣;郑黎明;林立;刘忠范;胡兆宁;阎睿;杨皓 | 申请(专利权)人: | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
| 主分类号: | C01B32/194 | 分类号: | C01B32/194 |
| 代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 吴娅妮;于宝庆 |
| 地址: | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种石墨烯薄膜的转移方法、石墨烯薄膜及石墨烯复合结构,该转移方法包括:提供第一石墨烯复合结构,所述第一石墨烯复合结构包括依次设置的基底层、石墨烯层、缓冲层和聚合物层;去除所述第一石墨烯复合结构的基底层,得到第二石墨烯复合结构;将所述第二石墨烯复合结构转移至目标基底;以及去除所述缓冲层和所述聚合物层;其中,所述缓冲层包含冰片,所述聚合物层用于为脱离所述基底的所述石墨烯层提供支撑。本发明一实施方式的方法,相较于现有技术,可提高转移后石墨烯薄膜的完整度、洁净度。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 石墨 薄膜 转移 方法 复合 结构 | ||
【主权项】:
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