[发明专利]一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备

摘要

本发明提供了一种晶圆蓝膜张紧和角度调节设备，其结构包括底板、档杆、装配架、张紧机构档杆后端两侧通过螺钉固定于装配架前端表面，装配架下端焊接固定于底板上方两端，本发明在对完成覆膜的晶圆进行表面薄膜张紧压平工序时，通过小幅度的调节调节滑块的高度即可将晶圆直接放置于张紧机构之中，并通过碾平辊的碾压而将晶圆表面薄膜与晶圆连接处之中的空气排出并将薄膜均匀的平铺至晶圆的表面，而在晶圆的厚度改变后，限位器之中设有的套环可通过自身的活动并通过复动器对套环的支撑，使碾平辊之间的角度通过自身的自主微调，使自身完全贴合于晶圆的厚度，并对晶圆表面的薄膜进行碾压，避免出现晶圆厚度改变后，无法完全的平铺薄膜的情况出现。