[发明专利]基于光致热折变玻璃的啁啾率可调的啁啾体光栅的曝光装置及啁啾体光栅的制备方法有效
| 申请号： | 202110119781.6 | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112799160B | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 晋云霞;莫建威;孔钒宇;邵建达;何冬兵 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于光致热折变玻璃的啁啾率可调的啁啾体光栅的曝光装置及啁啾体光栅的制备方法，所述的曝光装置至少包括一个发散柱面透镜系统和一个会聚柱面透镜系统，所述的啁啾体光栅的制备方法为变焦距对称入射的双柱面波干涉法，包括使不同焦距的一束发散柱面光束和一束会聚柱面光束在光致热折变玻璃处干涉，并在其体内形成周期渐变的干涉条纹，经热显影处理后得到任意啁啾率的啁啾体光栅。本发明提供了一种啁啾体光栅制备的曝光夹角、曝光距离、柱面透镜系统焦距等参数的计算方法，并在此基础上形成了啁啾率可调的啁啾体光栅的曝光装置及啁啾体光栅的制备方法，实现任意啁啾率的啁啾体光栅的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 光致热 折变 玻璃 啁啾 可调 光栅 曝光 装置 制备 方法 | ||
【主权项】：
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