[发明专利]一种基于冰刻的三维悬空纳米结构加工方法在审
| 申请号： | 202110117716.X | 申请日： | 2021-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN112925173A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴珊;赵鼎;仇旻 | 申请（专利权）人： | 西湖大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 杭州知闲专利代理事务所(特殊普通合伙) 33315 | 代理人： | 黄燕 |
| 地址： | 310024 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于冰刻的三维悬空纳米结构加工方法，包括：根据待加工三维悬空纳米结构的结构特征，确定层数以及每层冰膜厚度、电子束曝光参数；按照顺序进行逐层的加工；针对每一层，按照如下顺序形成该层结构：(i)首先在相邻层表面形成冰膜；(ii)在冰膜上进行冰膜的电子束曝光；加工完成后，去除未曝光部分的冰膜，得到所述的三维悬空纳米结构。通过本发明可以完成任意三维悬空纳米结构的制造，例如传统微纳加工技术难以轻松加工的悬空纳米网格、纳米桥状、三维光子晶体等精细结构。本发明加工精度可达百纳米以下，且全程无环境污染且一次性加工成型，具有良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 三维 悬空 纳米 结构 加工 方法 | ||
【主权项】：
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