[发明专利]一种高模量堇青石基低热膨胀陶瓷及其制备方法在审
| 申请号： | 202110107017.7 | 申请日： | 2021-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN112876228A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张丛;曹剑武;王成;郭建斌;刘发付;周雅伟;满蓬;郭在在;包宇光;王彦莉 | 申请（专利权）人： | 中国兵器工业第五二研究所烟台分所 |
| 主分类号： | C04B35/195 | 分类号： | C04B35/195;C04B35/622;C04B35/64 |
| 代理公司： | 烟台上禾知识产权代理事务所(普通合伙) 37234 | 代理人： | 高峰 |
| 地址： | 264000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高模量堇青石基低热膨胀陶瓷，由以下重量分数的物质组成：堇青石高纯粉74.5％‑81％、热膨胀系数调节剂7‑15％、弹性模量调节剂2.5％‑9％和助烧剂0.5‑1.5％。本发明的有益效果是：本发明高模量堇青石基低热膨胀陶瓷致密性较好，其致密度≥97％，弹性模量≥140GPa；针对光刻机应用领域，本发明提拱了一种光刻机操作温度下(20℃附近温度点)具备超低热膨胀系数的高模量堇青石基陶瓷材料制备方法，整体制备工艺简单，易操作，成本较低，易于实现产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高模量堇 青石 低热 膨胀 陶瓷 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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