[发明专利]一种探针卡平整度检测方法在审
| 申请号： | 202110100384.4 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112683161A | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 杜隽 | 申请（专利权）人： | 无锡星杰测试有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/34 | 分类号： | G01B7/34;G01R35/00 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种探针卡平整度检测方法，属于集成电路测试技术领域，包括：移动探针台，使得所述探针台靠近所述探针卡中的探针；根据测试机得到的信号，判断探针台是否与探针接触；根据探针台与探针接触的先后顺序，获取探针卡的平整度。其中，利用集成电路芯片测试领域中常用的测试机与探针台便能实现对于探针卡平整度的检测，从而极大地降低了探针卡平整度的检测成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 平整 检测 方法 | ||
【主权项】：
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