[发明专利]一种MEMS应力隔离机构及其设计方法在审
| 申请号： | 202110097880.9 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112897453A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 马志鹏;金一鸣;金仲和;郑旭东 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 郑海峰 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS应力隔离机构及其设计方法，属于MEMS机械设计领域，主要由环形或正多边形结构以及分布在波腹点和波节点的锚点构成。在MEMS器件加工或工作过程，由于多种材料膨胀系数失配和温度效应，MEMS器件会受到残余应力和热应力影响。基于环形或正多边形结构的驻波特性，将波腹点与基板锚点相连，将波节点与被保护MEMS器件的锚点相连，可以实现MEMS器件基板与内部被保护MEMS器件间的应力隔离。本发明结构简单，应力隔离效果好，可应用于各类MEMS器件的机械设计中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 应力 隔离 机构 及其 设计 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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