[发明专利]一种基于二维薄膜的高灵敏度微型自供电声电转换器在审
| 申请号： | 202110093007.2 | 申请日： | 2021-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN112929802A | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 任天令;田禾;吴凡;苟广洋 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H04R17/00 | 分类号： | H04R17/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 廖元秋 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出的一种基于二维薄膜的高灵敏度微型自供电声电转换器，包括依次层叠的衬底、由多个电极形成的电极层和具有压电效应或类压电效应的二维薄膜；通过对所述衬底的选择性刻蚀在衬底内形成多个彼此独立且大小不一的空腔，所述电极层内各电极位于衬底上未设置空腔的范围。本发明通过二维薄膜下的一定体积的空腔，使声波能够在空腔内充分反射从而能在二维薄膜的两侧共同对其作用，增大振幅，同时利用部分二维薄膜存在的压电效应或类压电效应，将声信号转换为电信号，以实现声电转换功能，具有突出的灵敏度和自供电特点，在可穿戴电子领域特别是人工耳蜗应用方面具有突出应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 二维 薄膜 灵敏度 微型 自供 电声 转换器 | ||
【主权项】：
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