[发明专利]激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法

摘要

本申请提供一种激光加工检测装置及方法、激光加工设备及调焦控制方法，涉及激光加工技术领域，能够在对被加工件进行无损的精密加工时，对被加工件加工表面进行瞬态过程的高时间分辨能力的检测成像。包括第一激光束，通过第一偏振旋转器的激光束经第一合光镜透射后用于射向被加工件进行激光加工。第二超短脉宽激光束和第三超短脉宽激光束分别经衍射光栅后通过第二合光镜合束，并通过第二偏振旋转器后在第一合光镜与第一激光束合束入射被加工件，被加工件反射的合束激光束经过第一合光镜分离第一激光束后经第二偏振旋转器再由第二合光镜分束为第二超短脉宽激光束和第三超短脉宽激光束，分别入射接收器和经衍射光栅后入射接收器。