[发明专利]MEMS传感器在审
| 申请号： | 202110083903.0 | 申请日： | 2021-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN112758884A | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 宋亚伟;宋学谦;迟海 | 申请（专利权）人： | 杭州海康微影传感科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 杨春香 |
| 地址： | 311501 浙江省杭州市桐*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种MEMS传感器，包括：基板与盖板；基板包括MEMS结构，围绕MEMS结构设置的第一内焊接环、以及围绕第一内焊接环设置的第一外焊接环；盖板包括第二内焊接环，与围绕第二内焊接环设置的第二外焊接环；基板与盖板通过第一内焊接环与第二内焊接环焊接在一起形成第一密封结构，第一密封结构将MEMS结构限定在真空腔体内；基板与盖板通过第一外焊接环与第二外焊接环焊接在一起形成第二密封结构，第二密封结构与第一密封结构之间形成真空夹层腔体。根据本发明的实施例，可极大降低气体的漏率，提高MEMS传感器的可靠性和寿命。 | ||
| 搜索关键词： | mems 传感器 | ||
【主权项】：
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