[发明专利]一种钙钛矿薄膜太阳能电池的飞秒激光刻蚀工艺方法在审
| 申请号： | 202110076556.9 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112885968A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 汪远昊;杨丽萍;李萌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院新疆理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01L51/48 | 分类号： | H01L51/48;H01L51/42;H01L51/46;B23K26/362 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 830000 新疆维*** | 国省代码： | 新疆;65 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开使用钙钛矿薄膜太阳能电池的飞秒激光蚀刻工艺方法，激光蚀刻工艺在镀镍层上进行镀覆的方法，包括：在原材料的表面上形成镀镍层；通过在镀镍层上激光蚀刻图形而形成激光蚀刻层；以及在激光蚀刻层上形成镀铬层。其次，通过飞秒激光刻蚀技术，对钙钛矿薄膜太阳能电池进行处理，本发明的优点是刻蚀工艺步骤简单，刻蚀加工图形和路径编程程序可调整，输入控制系统即可全自动化操作，飞秒激光的高能高效高精准保证了刻蚀精度显著提高，对刻蚀线周围材料损伤小，环保，易于工业生产广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 钙钛矿 薄膜 太阳能电池 激光 刻蚀 工艺 方法 | ||
【主权项】：
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