[发明专利]一种直接测量微纳材料热电优值的探测器及制备工艺在审
| 申请号： | 202110072849.X | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112909155A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 郑兴华;杨啸;陈海生 | 申请（专利权）人： | 中国科学院工程热物理研究所 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34;H01L35/10 |
| 代理公司： | 北京锺维联合知识产权代理有限公司 11579 | 代理人： | 原春香 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种直接测量微纳材料热电优值的探测器及制备工艺,采用光刻‑套刻‑刻蚀结合工艺制备双H型悬空微纳电极作为样品测量探头，消除电极与衬底间的导热热损影响。将样品转移或者旋涂到电极上之后，采用FIB或者导电导热胶与电极固定连接，消除接触电阻与接触热阻的影响。之后便可将样品与电极放置与高真空恒温舱内，连接外部测量电路进行测量，该电极可一次性精确测量同一个样品的ZT、电导率、热导率及塞贝克系数以及热扩散率等热电参数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 直接 测量 材料 热电 探测器 制备 工艺 | ||
【主权项】：
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