[发明专利]一种用于相对于待检测晶圆调节检测光源的位置的装置在审
| 申请号： | 202110069515.7 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112903584A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 程小刚;韩嘉豪 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;姚勇政 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于相对于待检测晶圆调节检测光源的位置的装置，所述装置包括：固定部件；可动部件，所述检测光源固定地设置在所述可动部件上以便与所述可动部件一起移动来靠近或远离所述晶圆；可旋转地设置在所述固定部件和所述可动部件中的一者上的手动旋钮；设置在所述固定部件与所述可动部件之间的传动机构，所述传动机构用于将所述手动旋钮的旋转运动转换为所述可动部件相对于所述固定部件的平移运动。通过该装置可以相对于待检测晶圆精准地调节检测光源的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 相对于 检测 调节 光源 位置 装置 | ||
【主权项】：
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