[发明专利]极紫外光源在审
| 申请号： | 202110069440.2 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN113253573A | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 陈思妤;简上傑;陈立锐 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05G2/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本揭露提供一种极紫外光源以及使用极紫外光源图案化基材上的光阻层的方法。举例来说，此极紫外光源包含一容积(Volume)，以收集电浆生成制程后所残留的液态锡碎屑，耦接至此容积的一外盖，其中此外盖包含至少一开口，以容许液态锡碎屑穿过此至少一个开口而掉落至此容积中，以及耦接至此外盖的一加热器，其中此加热器是用以熔化固态锡，此固态锡是由位于外盖表面的开口周围的液态锡碎屑冷却而成。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 光源 | ||
【主权项】：
暂无信息
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