[发明专利]聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置以及沉积方法

摘要

本发明涉及一种聚焦扫描式脉冲激光薄膜沉积装置以及沉积方法，利用汇聚透镜将准直激光汇聚到0.01mm量级，焦点落在靶材上，达到106W/cm2以上的平均功率密度和109W/cm2以上的峰值功率密度，使固态靶材表面原子气化从而实现样品处薄膜沉积。该设备通过X、Y方向的振镜，使光斑在靶材表面进行面扫描；再通过Z方向的实时调节以使靶面的光斑始终处于焦点位置。靶材位置也可放置多种材料，通过激光开合、输出功率与两组振镜及Z方向调节机构的联动，以实现多组分薄膜的沉积。激光器不使用有毒有害气体、沉积过程在时间上均匀性好，可以在不换靶的情况下自由调节所沉积样品的化学组分，提高了薄膜沉积的可控性与便捷性。