[发明专利]真空炉及石英玻璃制备方法有效
| 申请号： | 202110068545.6 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112830666B | 公开（公告）日： | 2022-10-04 |
| 发明（设计）人： | 薛钦;刘颖;王蒙非;汤明明;赵海伦;钱宜刚;沈一春;陈娅丽 | 申请（专利权）人： | 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B5/16 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
一种石英玻璃制备方法，包括步骤：提供多个石英锭以及真空炉。将所述石英锭容置于所述容置槽内，以及通过所述真空发生装置将所述腔体内的空气抽出，使所述腔体具有一真空度。启动所述底板加热件，所述底板加热件以第一升温速率将所述底板升温至第一温度，以及启动所述侧板加热件，所述侧板加热件以第二升温速率将所述侧板升温至所述第一温度，所述第一升温速率大于所述第二升温速率。保温熔化所述石英锭，退火以获得石英玻璃，所述石英玻璃的光学均匀性1.5×10 |
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| 搜索关键词： | 真空炉 石英玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
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