[发明专利]一种易集成微型原子层热电堆热流传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110066961.2 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN112885949A | 公开（公告）日： | 2021-06-01 |
| 发明（设计）人： | 陶伯万;费希;赵睿鹏;陈曦;杨帆;夏涛;黄涛;常永涛;陈亭宇 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H01L35/32 | 分类号： | H01L35/32;H01L35/34;G01K17/08;B81C1/00 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于热流传感器技术领域，具体涉及一种易集成微型原子层热电堆热流传感器及其制备方法。本发明基于横向热电效应，采用n‑1根导电膜将n根热电堆线条串联导通；可用单一材料实现缩减了成本。可通过MEMS技术制造，具有体积小、重量轻、响应速度快等特点，同时采用的热电堆结构简单，制备过程简单，可控性强，与现有成熟的半导体工艺具有良好的兼容性，适用于工业化大批量生产；在保证响应速度的前提下，可根据实际测量需求设计线条数来倍增响应信号，从而大幅度提高器件灵敏度，以满足不同的测量要求，进一步扩展其应用范围；采用额外m处电极导电膜的设计时，能够兼容不同量程的信号接收器。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 微型 原子 热电 热流 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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