[发明专利]一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法有效
| 申请号： | 202110063419.1 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112985651B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | 张琪;庞星;赵星越;赵玉龙 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | G01L1/16 | 分类号： | G01L1/16;G01L5/00;G01M13/021 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 范巍 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种齿轮动态啮合力检测薄膜传感器及其应用方法，所述齿轮动态啮合力检测薄膜传感器，包括：绝缘层，用于设置于齿轮基体表面；电极，电极溅射于绝缘层的表面；电极包括齿电极和轴电极，齿电极和轴电极通过导线电连接；压力敏感元件，包括：MoS |
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| 搜索关键词： | 一种 齿轮 动态 啮合 检测 薄膜 传感器 及其 应用 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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