[发明专利]一种平板显示用正性光阻显影液有效
| 申请号： | 202110063305.7 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112612189B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 刘小勇;田博;侯琳熙;房龙翔 | 申请（专利权）人： | 福建省佑达环保材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 修斯文;蔡学俊 |
| 地址： | 362800 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平板显示TFT‑array光刻制程中使用的正性光阻显影液。该正性光阻显影液的组成成分为有机碱2~5%、季铵盐双子表面活性剂0.5%~5%、非离子表面活性剂1%~10%、有机助剂0.5%~2%、余量为去离子水。本发明通过添加季铵碱双子表面活性剂，使所得正性光阻显影液具有良好的显影性和图案重现性，能有效提高良品率，满足高分辨率TFT显示屏的需求。同时，该显影液对光阻残渣溶解力强，泡沫少，工艺温度宽，具有较好应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平板 显示 用正性光阻 显影液 | ||
【主权项】：
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