[发明专利]一种正钛酸锌单晶薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110061885.6 | 申请日： | 2021-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN112941631B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 马瑾;栾彩娜;乐永 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | C30B29/32 | 分类号： | C30B29/32;C30B25/18;C30B33/02 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 杨磊 |
| 地址： | 250199 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种正钛酸锌单晶薄膜及其制备方法。以二乙基锌和四(二甲氨基)钛作为金属有机化合物源材料，氧气作为氧化气体，采用金属有机物化学气相沉淀设备在真空条件下在铝酸镁晶面衬底上生长钛酸锌薄膜，将制备的薄膜在空气中退火处理得到立方结构的正钛酸锌单晶薄膜。本发明所制备的正钛酸锌单晶薄膜材料晶格排列规则，结构完整，无孪晶，稳定性高，附着性能好，在半导体光电器件领域应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 正钛酸锌单晶 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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